微機械是一門節能、低損耗和技術密集型的高新技術，它已成為人們在微米（μm）范圍內認識和改造普通機械傳動的一種新型工具。由于微機械具有微小外形或其操作度極小的特點，所以，微機械現已被列入“使今后十年工業科技大改觀的十大關鍵技術”之首，現受到工業發達國家科技界、產業和政府部門的廣泛重視，且已投入了較大的人力和物力進行開發。

   早在20世紀70年代，隨著集成電路的刻蝕技術的發展，在一片很小的硅片上制造出了新型的微機械，如各種微傳感器等。此后，在一些工業發達的國家又相繼制造出了微電動機和各種微機構，如微型齒輪、微型蝸輪和微型彈簧以及微型連桿機構、滑塊機構和齒輪機構等。目前科學家們正在研究簡單通用的機器人�？傊�，微機械是當今生產力民展的必然產物。國內外具有遠見卓識的科學家現已意識到微機將在國民經濟、現代國防和科學技術等許多方面有著誘人的廣闊應用前景，不少的工業發達國家都很重視其研究和開發